证券之星消息,根据企查查数据显示京东方A(000725)新获得一项发明专利授权,专利名为“基板干燥装置、清洗系统及干燥方法”,专利申请号为CN9.5,授权日为2024年4月19日。
专利摘要:本公开涉及一种基板干燥装置、清洗系统及干燥方法,该基板干燥装置包括:基座,所述基座上设有基板的安装位;干燥部件,悬置于所述安装位的上方,所述干燥部件朝向所述安装位的一侧设有多个喷淋头,用于喷出高温气体,对所述基板上的水残进行干燥;滑动组件,包括固定于所述基座的导轨和与所述导轨滑动连接的滑块,所述滑块与所述干燥部件固定连接,用于带动所述干燥部件沿所述导轨移动;驱动机构,与所述滑块连接,用于驱动所述滑块移动。本公开能够提高包含该基板干燥装置的清洗设备的性能,保证基板产品的良率,并提高位于基板干燥装置的下游的检测设备的稼动率和产品直通率。
今年以来京东方A新获得专利授权1277个,较去年同期增加了57.85%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在开元体育平台 开元体育在线研发方面投入了113.2亿元,同比增1.97%。
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